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隨王占國(guó)院士看半導(dǎo)體

  

2012年5月與夫人劉建文在騰沖

  無(wú)處不在的半導(dǎo)體

  自上世紀(jì)中期投入應(yīng)用以來(lái),半導(dǎo)體已經(jīng)深入到人們的生活、學(xué)習(xí)和工作的方方面面,給電子工業(yè)帶來(lái)革命性的影響。但是這個(gè)時(shí)刻陪伴身邊的半導(dǎo)體究竟是什么?
  中國(guó)科學(xué)院王占國(guó)院士同半導(dǎo)體打了一輩子交道,他這樣回答:半導(dǎo)體是介于導(dǎo)體和絕緣體之間的一類(lèi)材料。它有四個(gè)特點(diǎn):熱敏性,與金屬不同,半導(dǎo)體的電阻與溫度變化是相反的,電阻越小溫度越高;光敏性,光一照,它的電導(dǎo)就發(fā)生變化;光伏效應(yīng),光照產(chǎn)生光電壓;整流效應(yīng),從A端到B端是通的,從B端到A端就不通了。
  半導(dǎo)體的特性為我們帶來(lái)了無(wú)窮益處:“如發(fā)射一噸重的衛(wèi)星,假如用晶體管代替電子管重量可減輕100千克,就可以節(jié)省9噸的燃料。它不僅廣泛應(yīng)用在航空航天、人造衛(wèi)星等高科技領(lǐng)域,而且是我們生活中不可或缺的:醫(yī)學(xué)上的核磁共振儀,日常用的收音機(jī)、電視機(jī)、洗衣機(jī)、微波爐、電冰箱、電子表、手機(jī)……里面核心控制的設(shè)備都是半導(dǎo)體。半導(dǎo)體應(yīng)該說(shuō)是無(wú)孔不入、無(wú)處不在。”
  硅作為半導(dǎo)體材料的代表,現(xiàn)在已經(jīng)成為微電子技術(shù)的基礎(chǔ)材料,我們用的電子元器件和電路的90%都是硅材料。使用硅材料做集成電路,產(chǎn)值已達(dá)到每年約3000億美元,由硅材料做成的器件和電路可以拉動(dòng)幾萬(wàn)億美元的電子產(chǎn)業(yè),半導(dǎo)體硅材料可以說(shuō)是信息時(shí)代的基礎(chǔ)。

王占國(guó)(前左)在國(guó)際會(huì)議上與瑞典皇家科學(xué)院院士Lars Samuelson 交談

  追隨一生的半導(dǎo)體

  王占國(guó)1938年12月29日生于河南鎮(zhèn)平。1962年畢業(yè)于南開(kāi)大學(xué)物理系,同年到中科院半導(dǎo)體所工作。從那時(shí)起,他的人生腳步,就沒(méi)有離開(kāi)過(guò)半導(dǎo)體這個(gè)領(lǐng)域。
  參加工作以后,王占國(guó)致力于半導(dǎo)體材料光電性質(zhì)和硅太陽(yáng)電池輻照效應(yīng)研究。其中,硅太陽(yáng)電池電子輻照效應(yīng)研究成果為我國(guó)人造衛(wèi)星用硅太陽(yáng)電池定型(由PN改為NP)投產(chǎn)起了關(guān)鍵作用。
  1971~1980年,他負(fù)責(zé)設(shè)計(jì)、建成了低溫電學(xué)測(cè)量和光致發(fā)光實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),并對(duì)GaAs和其它III-V族化合物半導(dǎo)體材料的電學(xué)、光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行了研究。其中,體GaAs熱學(xué)和強(qiáng)場(chǎng)性質(zhì)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果以及與林蘭英先生一起提出的“GaAs質(zhì)量的雜質(zhì)控制觀點(diǎn)”,對(duì)我國(guó)70年代末純度GaAs材料研制方向的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)移和GaAs外延材料質(zhì)量在80年代初達(dá)國(guó)際先進(jìn)水平貢獻(xiàn)了力量。
  1980~1983年,經(jīng)黃昆和林蘭英兩位所長(zhǎng)推薦,他赴國(guó)際著名的深能級(jí)研究中心瑞典隆德大學(xué)固體物理系,從事半導(dǎo)體深能級(jí)物理和光譜物理研究。在該領(lǐng)域權(quán)威H.G.Grimmeiss教授等的支持和合作下,做出了多項(xiàng)有國(guó)際影響的工作:提出了識(shí)別兩個(gè)深能級(jí)共存系統(tǒng)兩者是否是同一缺陷不同能態(tài)新方法,解決了國(guó)際上對(duì)GaAs中A、B能級(jí)和硅中金受主及金施主能級(jí)本質(zhì)的長(zhǎng)期爭(zhēng)論;提出了混晶半導(dǎo)體中深能級(jí)展寬和光譜譜線(xiàn)分裂的物理新模型,解釋了它們的物理實(shí)質(zhì);澄清和識(shí)別了一些長(zhǎng)期被錯(cuò)誤指派的GaAs中與銅等相關(guān)的發(fā)光中心等。
  1984~1993年,在半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)及性質(zhì)研究中,提出了GaAs電學(xué)補(bǔ)償五能級(jí)模型和電學(xué)補(bǔ)償新判據(jù),為提高GaAs質(zhì)量、器件與電路的成品率提供了依據(jù)。與人合作,提出了直拉硅中新施主微觀結(jié)構(gòu)新模型,摒棄了新施主微觀結(jié)構(gòu)直接與氧相關(guān)的傳統(tǒng)觀點(diǎn),成功地解釋了現(xiàn)有的實(shí)驗(yàn)事實(shí),預(yù)示了它的新行為;與龔秀英等同事合作,在國(guó)內(nèi)率先開(kāi)展了超長(zhǎng)波長(zhǎng)銻化物材料生長(zhǎng)和性質(zhì)研究,并首先在國(guó)內(nèi)研制成功InGaAsSb,AlGaAsSb材料及紅外探測(cè)器和激光器原型器件。
  他協(xié)助林蘭英先生,開(kāi)拓了我國(guó)微重力半導(dǎo)體材料科學(xué)研究新領(lǐng)域,首次在太空從熔體中生長(zhǎng)出GaAs單晶并對(duì)其光、電性質(zhì)作了系統(tǒng)研究,受到國(guó)內(nèi)外同行的高度評(píng)價(jià)。

2008年12月王占國(guó)于北京


  他于1986年任半導(dǎo)體所研究員,材料室主任;1990年任博士生導(dǎo)師,1991~1995年擔(dān)任副所長(zhǎng);1995年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院院士。1991~2001年任國(guó)家高技術(shù)新材料領(lǐng)域?qū)<椅瘑T會(huì)委員、常委、功能材料專(zhuān)家組組長(zhǎng),因?qū)?63計(jì)劃做出突出貢獻(xiàn),2001年863計(jì)劃實(shí)施十五周年時(shí),被科技部授予先進(jìn)個(gè)人稱(chēng)號(hào);1996~2000年任國(guó)家S-863計(jì)劃綱要建議軟課題研究新材料技術(shù)領(lǐng)域?qū)<医M組長(zhǎng);2003年任國(guó)家材料中長(zhǎng)期科技發(fā)展戰(zhàn)略研究新材料專(zhuān)家組組長(zhǎng);1997~2002年和2006~2009年任國(guó)家自然科學(xué)基金信息學(xué)部半導(dǎo)體學(xué)科評(píng)審專(zhuān)家組組長(zhǎng)等。此外,還有多種學(xué)術(shù)兼職。
  任863專(zhuān)家委員會(huì)委員期間,他積極推動(dòng)了我國(guó)全固態(tài)激光器的研發(fā)和半導(dǎo)體照明事業(yè)的發(fā)展。如今,我國(guó)的半導(dǎo)體白光照明已經(jīng)處于國(guó)際先進(jìn)水平,極大地促進(jìn)了節(jié)能環(huán)保事業(yè)的發(fā)展。
  從上世紀(jì)90年代起,他工作的重點(diǎn)已集中在半導(dǎo)體低維結(jié)構(gòu)和量子器件這一國(guó)際前沿研究方面,先后主持和參與負(fù)責(zé)十多個(gè)國(guó)家863、973,國(guó)家重點(diǎn)科技攻關(guān),國(guó)家自然科學(xué)基金重大、重點(diǎn)和面上項(xiàng)目以及中科院重點(diǎn)、重大等研究項(xiàng)目。
  他和MBE組的同事一起,在成功地研制了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際先進(jìn)水平的電子遷移率(4.8K)高達(dá)百萬(wàn)的2DEG材料和高質(zhì)量、器件級(jí)HEMT和P-HEMT結(jié)構(gòu)材料的基礎(chǔ)上,又發(fā)展了應(yīng)變自組裝In(Ga)As/GaAs,InAlAs/AlGaAs/GaAs, InAs/InAlAs/InP和InAs/InGaAs/InP等量子點(diǎn)、量子線(xiàn)和量子點(diǎn)(線(xiàn))超晶格材料生長(zhǎng)技術(shù),并初步在納米尺度上實(shí)現(xiàn)了對(duì)量子點(diǎn)(線(xiàn))尺寸、形狀和密度的可控生長(zhǎng);首次發(fā)現(xiàn)InP基InAs量子線(xiàn)空間斜對(duì)準(zhǔn)的新現(xiàn)象;成功地制備了從可見(jiàn)光到近紅外的量子點(diǎn)(線(xiàn))材料,并研制成功室溫連續(xù)工作輸出光功率達(dá)4瓦(雙面之和)的大功率量子點(diǎn)激光器,為當(dāng)時(shí)國(guó)際上報(bào)道的最好結(jié)果之一;紅光量子點(diǎn)激光器和 InGaAs/InAlAs、GaAs/AlGaAs量子級(jí)聯(lián)激光器與探測(cè)器材料及其器件的研究水平也處在國(guó)際的前列;2001年,他作為國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃973項(xiàng)目“信息功能材料相關(guān)基礎(chǔ)問(wèn)題”的首席科學(xué)家,又提出了柔性襯底的概念,為大失配異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料體系研制開(kāi)辟了一個(gè)可能的新方向。
  上述研究成果曾獲國(guó)家自然科學(xué)二等獎(jiǎng)和國(guó)家科技進(jìn)步三等獎(jiǎng),中國(guó)科學(xué)院自然科學(xué)一等獎(jiǎng)和中國(guó)科學(xué)院科技進(jìn)步一、二和三等獎(jiǎng),何梁何利科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng),國(guó)家重點(diǎn)科技攻關(guān)獎(jiǎng)以及優(yōu)秀研究生導(dǎo)師獎(jiǎng)等十多項(xiàng);從1983年以來(lái),先后在國(guó)外著名學(xué)術(shù)刊物發(fā)表論文180多篇,培養(yǎng)博士、碩士和博士后百余名。

2007年5月22日王占國(guó)院士(二排左五)與同事和學(xué)生合影

  新科技革命的起點(diǎn)

  硅集成電路的器件尺度不可能無(wú)限減小,摩爾定律在硅器件尺寸減小到一定程度的時(shí)候,會(huì)遇到量子效應(yīng)、功耗問(wèn)題、隧穿問(wèn)題等等,這就限制了現(xiàn)有模式的繼續(xù)發(fā)展。國(guó)際上預(yù)計(jì),2022年硅集成電路器件的最小尺寸將達(dá)到10納米左右。
  王占國(guó)認(rèn)為,半導(dǎo)體材料發(fā)展的一個(gè)重要趨勢(shì)是由三維體材料向二維超晶格量子阱、一維量子線(xiàn)和零維量子點(diǎn)方向發(fā)展。目前,基于GaAs和InP基的二維量子阱材料與器件已經(jīng)發(fā)展得很成熟,廣泛地應(yīng)用于光通信、移動(dòng)通信、微波通信的領(lǐng)域。量子線(xiàn)和量子點(diǎn)材料和器件及電路業(yè)已嶄露頭角,發(fā)展迅速。
  王占國(guó)表示,半導(dǎo)體的潛力還遠(yuǎn)遠(yuǎn)沒(méi)有被挖掘出來(lái),例如除了基于量子力學(xué)的量子信息技術(shù)之外,還有分子電子學(xué)、自旋電子學(xué)、納米電子學(xué)都在探索之中。半導(dǎo)體納米科學(xué)技術(shù)的應(yīng)用,將從原子、分子、納米尺度水平上,控制和制造功能強(qiáng)大、性能優(yōu)越的人工微結(jié)構(gòu)材料和基于它們的器件和電路。而這些,極有可能觸發(fā)新的技術(shù)革命,把我們?nèi)祟?lèi)帶入到更加美妙的時(shí)代,使人類(lèi)進(jìn)入變幻莫測(cè)的量子世界。

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